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半導体工場のフッ化水素ガス安全管理にATI検知器を導入

半導体製造工程でのフッ化水素ガス発生による作業者の安全リスクに対して、ATI社製フッ化水素ガス検知器を導入。電気化学式で低価格・広測定範囲の製品により、安全確認を実現。

提供（製品）

ATI社製フッ化水silicon検知器

sunnyltd

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導入（顧客）

導入企業（非公開）

01課題

半導体部品の製造工程で使用されるフッ化水素酸から発生するフッ化水素ガスが、作業者の安全に悪影響を及ぼす可能性がある。

ATI社製フッ化水素ガス検知器を導入。電気化学式の測定原理で、低価格・広い測定範囲（最大200ppm）を活用し、ガス濃度を確認可能とした。

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